半導(dǎo)體百級(jí)無塵烤箱

型號(hào)：	EVC150L
更新時(shí)間：	2025-04-02

Class 100百級(jí)潔凈無塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

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產(chǎn)品詳細(xì)資料：

一、半導(dǎo)體無塵烤箱設(shè)備用途:
半導(dǎo)體無塵烤箱Class 100百級(jí)潔凈無塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

二、半導(dǎo)體無塵烤箱產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100級(jí)；
2、內(nèi)膽四周氬弧焊，耐高溫硅膠密封，SUS304#不銹鋼加熱器，防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵；
3、采平面水平送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter裝置往前 (特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
4、箱內(nèi)空氣封閉強(qiáng)制自循環(huán)，經(jīng)耐高溫空氣過濾器反復(fù)過濾，使干燥箱工作室內(nèi)處于無塵狀態(tài)。水平循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場(chǎng)分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，溫度控制精度。
5、配壓差計(jì)隨時(shí)了解過濾器工作狀態(tài)。

三、半導(dǎo)體無塵烤箱潔凈度100級(jí)的潔凈熱處理：
HEPA高效過濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與Class 100級(jí)潔凈度小限度控制風(fēng)速距離。

三、技術(shù)參數(shù)：

設(shè)備型號(hào)		EVC 150L□	EVC 320L□	EVC640L□	EVC 270L2【雙層】
內(nèi)箱尺寸WDH mm		500×500×600	600×600×900	800×800×1000	700×700×500
外型尺寸WDH mm		以實(shí)物為準(zhǔn)(溫度不同外箱尺寸不同)
工作溫度范圍		A: 250℃ B: 300℃
潔凈度		Class 100級(jí)（可定制Class 1000級(jí)，Class 10000級(jí)）
性能	解析精度	0.1℃
	分布均勻度	±2.5℃%
材質(zhì)	外部材質(zhì)	SPCC鋼板粉體烤漆處理
	內(nèi)部材質(zhì)	SUS﹟304鏡面不銹鋼板
	隔熱材質(zhì)	玻璃纖維棉/陶瓷纖維棉
	密封材料	硅橡膠
加熱方式		熱風(fēng)循環(huán)加熱/自然對(duì)流加熱/熱輻射加熱
加熱系統(tǒng)		不銹鋼高速加熱器
計(jì)時(shí)器		0.1S～9999H
溫控器		普通數(shù)顯溫控型/觸摸屏PLC程序控制器
其它配件		多層強(qiáng)化玻璃視窗（260℃以內(nèi)），隔層置物架（兩片）
安全裝置		電路系統(tǒng)負(fù)載保護(hù)，風(fēng)機(jī)過載保護(hù)，溫到計(jì)時(shí)時(shí)到斷加熱，故障警示燈
選配件		溫度記錄儀；②推車；③測(cè)試孔（Φ25mm）；④可選裝充氮功能（N²）
設(shè)備電源		AC 220V或380V 50HZ
備注：1、以上數(shù)據(jù)均在環(huán)境溫度（QT）25℃.工作室無負(fù)載條件下測(cè)得。 2、可依客戶要求制作，滿足客戶的要求。本技術(shù)信息，如有變動(dòng)恕不另行通知